A | B | C | D | E | F | G | H | CH | I | J | K | L | M | N | O | P | Q | R | S | T | U | V | W | X | Y | Z | 0 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9
Naparovanie je bežná metóda nanášania tenkých filmov. Zdrojový materiál je nanášaný vo vákuu. Vákuum umožňuje presun odparených častíc priamo na substrát, kde sa tieto častice skondenzujú späť do tuhého stavu. Naparovanie je využívané v mikrovýrobe a na výrobu produktov ako sú napr. pokované fólie.
Fyzikálne princípy
Naparovanie v sebe zahŕňa dva základné procesy:
- Odparenie materiálu
- Kondenzácia na substráte
Podobá sa to známemu procesu, pri ktorom sa voda v kvapalnom stave objaví na pokrývke hrnca pri varení. Ale plynné prostredie a zdroj tepla sa líšia. Naparovanie prebieha vo vákuu, to znamená, že pary nepochádzajúce zo zdrojového materiálu sú odstránené ešte pred začiatkom procesu.
Odparené častice sa presúvajú priamo k cieľovému substrátu bez stretu s ostatnými plynmi – toto je zabezpečené vákuom (high vacuum). Pri tlaku 10−4 Pa je pre časticu veľkosti 0,4 nm stredná voľná cesta asi 60 m. Žeraviace objekty v naparovacej komore (žeraviace vlákna) produkujú neželané pary, ktoré obmedzujú kvalitu vákua.
Vybavenie
Každý naparovací systém obsahuje vákuovú pumpu. Taktiež obsahuje zdroj energie, ktorý zabezpečí odparenie materiálu určeného na nanesenie. Existuje viacero rôznych energetických zdrojov:
- pri termálnej metóde: kovový drôt je pripojený k nahrievanému keramickému naparovaču označovanému „loď“. V dutine „lode“ sa vytvorí roztavený kov a odparí sa do oblaku nad zdrojovým materiálom. Iný spôsob je, že zdrojový materiál je uložený v banke a nahrievaný žiarením alebo je zdrojový materiál priamo zavesený na žeraviace vlákno.
- Vyspelejšou formou termálnej metódy je epitaxia z molekulárnych zväzkov.
- pri metóde elektrónového lúča: zdroj je nahrievaný elektrónovým lúčom s energiou až do 15 keV (1 eV=1.602×10−19 J)
- pri FLASH naparovaní: jemný drôt je rovnomerne pripevnený na žeraviacu tyč a pri kontakte sa odparuje.
- pri Odporovom naparovaní sa vykonáva prechodom prúdu cez odporový drôt alebo fóliu s obsahom materiálu na odparenie.
Niektoré systémy využívajú uchopenie substrátu, pri ktorom je substrát neustále otáčaný okolo dvoch osí, čím sa zabráni tieneniu.
Zdroj
Tento článok je čiastočný alebo úplný preklad článku Evaporation (deposition) na anglickej Wikipédii.
Text je dostupný za podmienok Creative Commons Attribution/Share-Alike License 3.0 Unported; prípadne za ďalších podmienok. Podrobnejšie informácie nájdete na stránke Podmienky použitia.
Antény
Chemické zdroje elektriny
Chladenie v elektrotechnike
Elektrická sústava automobilu
Elektrická trakcia
Elektrické prístroje
Elektrické súčiastky
Elektrické spotrebiče
Elektrické stroje
Čítanie (elektrotechnika)
Činný výkon
Štatistická dynamika
Živý vodič
Admitancia
Antiparalelné zapojenie
Asynchrónny motor
Blúdivý prúd
Bočník (elektrotechnika)
Diak (polovodičový prvok)
Displej s kvapalnými kryštálmi
Elektrická inštalácia
Elektrická rezonancia
Elektrická sila
Elektrická vodivosť
Elektrické zariadenie
Elektrický obvod
Elektrický zvonec
Elektroenergetika
Elektromer
Elektrometer
Elektromobil
Elektromotor
Elektromotorické napätie
Elektrotechnický náučný slovník
Elektrotechnika
Elektrotechnológia
Fázor
Faradayova klietka
Frekvencia (fyzika)
Graetzov mostík
Impedancia
Indukčnosť
Induktancia
Istič
Izolácia (elektrotechnika)
Izolant
Jadro vodiča
Jednobran
Jednosmerný prúd
Joulovo teplo
Katóda
Koaxiálny kábel
Kompenzácia účinníka
Konduktometria
Konektor (elektrotechnika)
Korónový výboj
Lanko (elektrotechnika)
Leptanie
Logické hradlo
Magnetická susceptibilita
Magnetizácia (veličina)
Merný elektrický odpor
Mobilné zariadenie
Napájací zdroj
Napäťový chránič
Napäťový násobič
Nortonova veta
Odpínač
Odpojovač
OLED
Olovený akumulátor
Paralelné zapojenie
Peltierov článok
Plošná hustota elektrického prúdu
Poistka (elektrotechnika)
Posuvný prúd
Prúdový chránič
Prenosové médium
Prieletový klystrón
Primárny elektrochemický článok
Reaktancia
Rekuperácia (dopravný prostriedok)
Relé
Reproduktorová výhybka
Rezistancia
Rozhranie (interface)
Sériové zapojenie
Seebeckov jav
Sekundárny elektrochemický článok
Settopbox
Skrat
Sonar
Spínač
Spínaný zdroj
Straty v mikropásikových vedeniach
Striedavý prúd
Stupeň ochrany krytom
Svetelná výbojka
Symetrizačný člen
Technická normalizácia
Tepelné relé
Tepelne vodivostný detektor
Termočlánok
Théveninova veta
Transformátor
Transformátor s fázovou reguláciou
Trojfázová sústava
Tuhá fáza (elektronika)
Tyratrón
Usmerňovač (elektrotechnika)
Uzemnenie
Uzol (vodiče)
Vírivý prúd
Výbojka
Varistor
Ventilátor
Vodič (elektrotechnika)
Voltov stĺp
Vstavaný systém
Zásuvka (elektrotechnika)
Zdroj (elektrotechnika)
Zisk antény
Text je dostupný za podmienok Creative
Commons Attribution/Share-Alike License 3.0 Unported; prípadne za ďalších
podmienok.
Podrobnejšie informácie nájdete na stránke Podmienky
použitia.
www.astronomia.sk | www.biologia.sk | www.botanika.sk | www.dejiny.sk | www.economy.sk | www.elektrotechnika.sk | www.estetika.sk | www.farmakologia.sk | www.filozofia.sk | Fyzika | www.futurologia.sk | www.genetika.sk | www.chemia.sk | www.lingvistika.sk | www.politologia.sk | www.psychologia.sk | www.sexuologia.sk | www.sociologia.sk | www.veda.sk I www.zoologia.sk